PURAS® Prozesssysteme für sicheres Chemikalien-Management
PURAS® Chemikalienversorgungssysteme von Fäth übernehmen die sichere Lagerung, Bereitstellung, Dosierung, Mischung und Entsorgung von Prozesschemikalien für industrielle Fertigungsprozesse. Die Systeme werden unter anderem in der Halbleiterindustrie, Pharmaindustrie, Chemieindustrie und weiteren Hightech-Anwendungen eingesetzt.
Von kompakten Versorgungssystemen für Chemikalien bis hin zu redundanten Wechseltanksystemen, Chemikalien-Dosiersystemen, Chemikalienmischsystemen, Slurry-Versorgungssystemen oder Lösungen für die Säureversorgung im Reinraum entwickeln wir Systeme, die exakt auf Ihren Prozess abgestimmt sind. Engineering, Fertigung, Prüfung, Qualifizierung und Service erhalten Sie dabei aus einer Hand.
Warum PURAS® Chemikalienversorgungssysteme?
Höchste Versorgungssicherheit
Unsere Chemikalienversorgungssysteme gewährleisten eine kontinuierliche Versorgung Ihrer Produktionsanlagen. Redundante Wechseltanksysteme verhindern Prozessunterbrechungen und erhöhen die Anlagenverfügbarkeit.
Präzise Chemikaliendosierung
Die integrierten Chemikalien-Dosiersysteme ermöglichen eine reproduzierbare Dosierung jeder Prozesschemikalie. Dadurch werden Medienverbrauch, Ausschuss und Betriebskosten reduziert.
Maximale Sicherheit
Alle Chemikalien-Versorgungssysteme verfügen über umfangreiche Sicherheitsfunktionen wie Leckageüberwachung, Unterdruckkontrolle, Abluftüberwachung und Auffangsysteme.
Intelligente Überwachung
Sensoren, Alarmfunktionen und Notabschaltungen überwachen kontinuierlich Druck, Temperatur, Füllstand und Leckagen. Abweichungen werden früh erkannt und Produktionsstillstände vermieden.
Unsere Chemikalienversorgungssysteme
Die PURAS® Produktfamilie umfasst unterschiedliche Chemikalienversorgungssysteme, Chemikalienmischsysteme
und Chemikalien-Dosiersysteme für nahezu jede Prozessanforderung von der Versorgung einzelner Chemikalien bis zur sicheren Entsorgung.

PURAS® 200 Simplex
Einfach-Wechseltanksystem
Versorgt eine Prozesschemikalie ohne Redundanz. Die kompakte Lösung für Anwendungen mit normalen Verfügbarkeitsanforderungen und einer sicheren, zuverlässigen Medienversorgung.

PURAS® 200 Duplex
Doppel-Wechseltanksystem
Versorgt eine Prozesschemikalie über zwei Gebinde. Beim Leerstand eines Gebindes erfolgt der automatische Wechsel auf das zweite – für eine unterbrechungsfreie Versorgung und erhöhte Anlagenverfügbarkeit.

PURAS® 200 Maxim
Wechsel-Festtank-System
Für höchste Prozesssicherheit: Das Wechsel-Festtank-System ermöglicht eine kontinuierliche, blasenfreie Chemikalienversorgung mit maximaler Verfügbarkeit – ideal für kritische Produktionsprozesse, beispielsweise in der Halbleiterindustrie.

PURAS® 200 Mixtura
Mischtank-System
Stellt verdünnte Chemikalien aus Konzentraten, beispielsweise Flusssäure, automatisch her. Präzise Dosierung und reproduzierbare Mischverhältnisse gewährleisten eine gleichbleibende Medienqualität.

PURAS® 200 Locus
Entsorgungssystem
System zur sicheren Aufnahme von füßigen Chemikalienabfällen. Die Fässer oder Tanks werden sicher aufgenommen und bis zur Entsorgung gelagert für ein sicheres Chemikalienmanagement.

PURAS® Locus 1000
Entsorgungssystem
System zur sicheren Sammlung und Bereitstellung von Chemikalienabfällen. Fässer oder Tanks werden sicher aufgenommen und bis zur Entsorgung gelagert für ein geschlossenes und sicheres Chemikalienmanagement.
Kontakt
Sprechen Sie uns an
Sie planen ein neues Chemikalienversorgungssystem oder möchten eine bestehende Anlage modernisieren? Unsere Experten beraten Sie gerne zu Auslegung, Sicherheitskonzept und passender PURAS®-Variante für Ihre Anwendung von der ersten Anfrage bis zur Inbetriebnahme.
Kontaktieren Sie uns für eine unverbindliche Beratung. Gemeinsam entwickeln wir die passende Lösung für Ihre Prozesschemikalien-Versorgung.
- Fäth GmbH · Schwabacher Str. 10 · 01665 Klipphausen
- +49 35204 3930-50
- info@faeth.com
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Branchen
Branchenlösungen für eine sichere Chemikalienversorgung
PURAS® Chemie Support Systeme sind für industrielle Anwendungen entwickelt, in denen Prozesschemikalien sicher und kontrolliert bereitgestellt, dosiert, gemischt oder entsorgt werden. Dank ihres modularen Aufbaus eignen sie sich für unterschiedlichste Prozesse in der Halbleiter-, Life-Science-, Chemie- und Fertigungsindustrie.
01
Halbleiterindustrie
In der Halbleiterindustrie gewährleisten PURAS® Chemikalienversorgungssysteme die sichere und kontinuierliche Versorgung von Prozesschemikalien für Nassprozesse, Ätzanlagen, Reinigungsprozesse und Waferfertigung. Hohe Reinheitsanforderungen, maximale Anlagenverfügbarkeit und eine zuverlässige Medienversorgung stehen dabei im Mittelpunkt.
02
Pharma / Life Science
Für Pharma- und Life-Science-Anwendungen bietet PURAS® eine sichere Bereitstellung, Dosierung und Verteilung von Prozesschemikalien unter GMP-gerechten Bedingungen. Die Systeme können individuell qualifiziert werden und unterstützen eine reproduzierbare sowie dokumentierte Medienversorgung in Laboren und Produktionsbereichen.
03
Chemieindustrie
In der Chemieindustrie sorgen PURAS® Chemikalienversorgungssysteme für die sichere Lagerung, Dosierung und Bereitstellung von Säuren, Laugen, Lösemitteln und weiteren Prozesschemikalien. Robuste Sicherheitsfunktionen und eine hohe Anlagenverfügbarkeit unterstützen einen wirtschaftlichen und sicheren Produktionsbetrieb.
04
Forschung & Entwicklung
Forschungs- und Entwicklungseinrichtungen profitieren von flexiblen Chemikalienversorgungssystemen für wechselnde Prozesse und Versuchsaufbauten. Der modulare Aufbau ermöglicht eine einfache Anpassung an neue Medien, Laboranwendungen und Pilotanlagen.
05
Allgemeine Industrie
Auch außerhalb hochregulierter Branchen kommen PURAS® Chemikalienversorgungssysteme überall dort zum Einsatz, wo Prozesschemikalien sicher gelagert, dosiert oder bereitgestellt werden müssen. Die Systeme lassen sich individuell an Produktionsprozesse und betriebliche Anforderungen anpassen.
06
Leiterplattenfertigung / Galvanik
Für die Leiterplattenfertigung und Galvanik gewährleistet PURAS® die präzise Versorgung von Prozessbädern, Säuren, Laugen und weiteren Chemikalien. Eine exakte Chemikaliendosierung sowie eine zuverlässige Medienversorgung tragen zu gleichbleibender Prozessqualität und hoher Produktionssicherheit bei.
Häufige Fragen
PURAS® Chemieversorgungssysteme – Ihre Fragen
Für welche Prozesschemikalien ist PURAS® geeignet?
PURAS® Chemikalienversorgungssysteme eignen sich für zahlreiche Prozesschemikalien, Säuren, Laugen, Lösungsmittel und Reinstchemikalien. Typische Medien sind beispielsweise HF, HCl, H₂SO₄, NH₄OH, KOH, HNO₃ sowie weitere Chemikalien, die in der Halbleiter-, Pharma-, Chemie- und Fertigungsindustrie eingesetzt werden.
Können auch aggressive Säuren und Laugen sicher versorgt werden?
Ja. PURAS® Systeme können für die sichere Versorgung aggressiver Medien wie Flusssäure, Salzsäure, Schwefelsäure, Salpetersäure, Kalilauge oder Ammoniumhydroxid ausgelegt werden. Je nach Chemikalie, Konzentration und Prozessanforderung werden Werkstoffe, Sensorik, Sicherheitseinrichtungen und Rohrleitungskomponenten entsprechend angepasst.
Welche Variante passt zu meiner Anwendung?
PURAS® bietet für jede Anforderung das passende Chemieversorgungssystem: Simplex für die Versorgung einer Chemikalie ohne Redundanz, Duplex mit zwei Gebinden für höhere Verfügbarkeit, Maxim als Wechsel-Festtank-System für eine kontinuierliche, blasenfreie Versorgung, Mixtura zur Herstellung verdünnter Chemikalien aus Konzentraten sowie Locus für die sichere Entsorgung von Chemikalienabfällen.
Welche Sicherheitsfunktionen sind enthalten?
PURAS® Systeme verfügen serienmäßig über umfangreiche Sicherheitsfunktionen wie Leckagewanne, Leckagesensoren, Türüberwachung, Abluftüberwachung und Unterdrucküberwachung. Alarme und Sicherheitsfunktionen erkennen Leckagen sowie Druck- oder Temperaturabweichungen frühzeitig und unterstützen einen sicheren Anlagenbetrieb.
Ist eine Inbetriebnahme oder Qualifizierung durch Fäth möglich?
Ja. Standardmäßig wird das PURAS® System verpackt und ab Werk geliefert. Optional übernimmt Fäth die Aufstellung vor Ort, Inbetriebnahme, Qualifizierung, Schulung sowie Remote Access und weitere Serviceleistungen – Engineering, Fertigung, Prüfung und Qualifizierung aus einer Hand.
Sind individuelle Chemikalienversorgungssysteme möglich?
Ja. Alle PURAS® Chemikalien-Versorgungssysteme werden auf Wunsch kundenspezifisch angepasst. Dazu gehören Sensorik, Automatisierung, Rohrleitungsmaterialien, Dokumentation sowie SEMI- oder GMP-konforme Ausführungen.
Können Chemikalien gemischt oder verdünnt werden?
Ja. Mit PURAS® Mixtura steht ein automatisiertes Chemikalienmischsystem zur Verfügung, das Konzentrate präzise verdünnt und reproduzierbare Mischungsverhältnisse sicherstellt.
Wie schnell ist ein PURAS® System verfügbar?
Dank der standardisierten PURAS® Plattform sind unsere Systeme in der Regel bis zu 20 % schneller verfügbar als vergleichbare Individualanlagen. Vor der Auslieferung wird jedes System einem Factory Acceptance Test (FAT) unterzogen.
Sind PURAS® Systeme auch für Slurry oder Reinstchemikalien geeignet?
Ja. Neben klassischen Prozesschemikalien können PURAS® Systeme auch für Reinstchemikalien und spezielle Medien ausgelegt werden. Für Slurry-Anwendungen bietet Fäth ergänzende Lösungen zur Slurry-Versorgung, Medienverteilung und Prozessintegration.
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