Fäth Group auf der SEMICON Europa 2026

PURAS® – Sichere Chemikalienversorgung

PURAS® Systeme ermöglichen eine zuverlässige und bedarfsgerechte Chemikalienversorgung für anspruchsvolle Prozesse in der Halbleiterfertigung. Von kompakten Versorgungssystemen über Dosier- und Mischsysteme bis zu redundanten Lösungen entwickeln wir die Systeme passend zu Ihren Prozess- und Sicherheitsanforderungen.

AERION® – Sichere Gasversorgung

AERION® Systeme ermöglichen die sichere Versorgung Ihrer Prozesse mit Prozessgasen, auch bei gefährlichen, entzündlichen, toxischen oder korrosiven Medien. Die Systeme werden entsprechend den Anforderungen Ihrer Anwendung konfiguriert und unterstützen einen zuverlässigen und sicheren Fab-Betrieb.

Slurry- & Abwasserrecycling

Unsere Recyclinglösungen trennen Wasser und Prozessmedien durch mehrstufige Filtrations- und Ultrafiltrationsprozesse. So können Reinstwasser und wertvolle Rohstoffe aufbereitet und in den Produktionsprozess zurückgeführt werden – für einen effizienteren und ressourcenschonenderen Fab-Betrieb.

01

Systemkompetenz aus einer Hand

Von Engineering und Konstruktion über Fertigung und Montage bis zu Prüfung, Qualifizierung und Service: Fäth begleitet Projekte ganzheitlich. Das reduziert Schnittstellen und ermöglicht optimal aufeinander abgestimmte Systemlösungen für Ihre Fab.

02

Erfahrung mit anspruchsvollen Prozessmedien

Chemikalien, Prozessgase, Slurry und Abwasser stellen hohe Anforderungen an Sicherheit, Werkstoffe und Anlagenkonzepte. Fäth verbindet langjährige Erfahrung in der Reinstmedienversorgung mit umfassender Kompetenz im Anlagen- und Rohrleitungsbau.

03

International aufgestellt

Mit Standorten in Deutschland, Malaysia, Singapur und China begleitet Fäth internationale Projekte und unterstützt Kunden auch in wichtigen Regionen der Halbleiterindustrie – von der Projektierung bis zum Service.